전공소개
Functional Nanostructured Materials Research Lab
- 담당교수 : 좌용호 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트중
- 홈페이지 : http://fnmr.hanyang.ac.kr
잉크젯 프린팅
나노입자기반 잉크 개발 -기판표면처리 및 잉크의 기능화를 통한 상호 접착력 강화 -공정조건 변화를 통한 미세패턴 형성 -다양한 기판에 적용을 위한 저온 소결 공정개발
친환경 이온흡착재료
수질 및 도금폐수에 포함된 유해 음이온흡착을 위한 층상이중층수산화물 개발 - 건축구조물 내구성유지를 위한 복합소재, 첨가제 및 코팅 흡착제 개발 - 구조 및 조성변화를 이용한 선택적 이온흡탈착 성능향상
자성재료
- - 0차원, 1차원 및 2차원의 자성 나노 구조체 합성
- - 나노섬유를 이용한 차세대 영구자석소재 개발
- - 나노입자를 이용한 전자파 차폐소재 개발
- - 신 조성 자성 구조체 제조 기술 개발
- - 헥사페라이트, 희토류 자석 및 고주파 소재로의 응용
센서용재료
가스 흡착 시 전기 저항 변화를 감지하는 방식의 가스 센서 개발 - 가스 흡착 시 온도 변화를 감지방식의 가스 센서 개발 - 상온 저전력 구동을 위한 설계 : H2, CH4 등과 같은 폭발성 가스를 비롯하여 SOx, NOx, H2S, NH3 등의 유독 가스를 ppb 단위로 검출
유-무기복합재료
유기-무기 복합기반 기능성 소재개발 - 내부식, 내산화성 향상 및 전기전도성 부여를 위한 금속보호용 다기능 복합코팅제 제조기술 개발 - 다양한 부식 및 산화환경에 적합한 코팅시스템 설계: 염수 (NaCl), 산 조건(H2SO4), 고온 등에서 본래 성질을 유지할 수 있도록 설계
방열 및 열전재료
고성능 열전, 방열소재 (Graphene, AlN, BN등) 소재 대량 합성 기술 연구 - 가공성, 기계적 특성 향상을 위한 복합체 제조 기술 개발 - Percolation이론을 통한 3D 구조체 system 연구
자성재료 및 재료특성분석 연구실
- 담당교수 : 김종렬 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://mcl.hanyang.ac.kr/
자성재료 및 재료특성분석 연구실에서는 크게 자성재료와 철강재료의 구조/물성에 관한 기초 연구 및 응용 연구를 수행하고 있다. 자성재료에 관한 주요 연구내용은 크게 두 가지로 분류할 수 있다. 첫째는 자성의 합성 및 정렬을 통해 우수한 자기적 특성을 갖는 영구자석 및 연자성 소재개발이며, 둘째는 재료의 기본물성, 형상, 배열 등을 고려한 전자기적 특성 모델링 및 전자파 흡수체 개발이다. VSM(Vibrating Sample Magnetometer)을 이용한 재료의 자기특성 해석을 기초로 하며, 또한 재료의 자기특성은 미세조직에 의해 결정되므로 전자현미경을 이용한 구조해석을 통해 미세조직을 제어하는 연구를 진행하고 있다. 철강재료에 관한 주요 연구내용은 자동차용 강판, 해양플랜트 구조용 후판 및 보일러용 강관 등 철강재료의 미세조직분석을 통해 재료가 갖는 기계적 특성을 해석하고 이를 향상시킬 수 있는 방안을 모색하는 것이다. 특히, 주사전자현미경을 이용한 미세조직의 관찰과 투과전자현미경을 통한 재료 내에 존재하는 결함분석 및 석출물의 방위관계에 대한 분석을 기초로 연구를 진행하고 있다. 뿐만 아니라, EBSD 분석을 이용하여 결정립의 방위관계와 재료의 물리적 특성 간의 상호 연관성에 대한 연구도 진행하고 있다.
영구자석 및 코어용 연자성 소재 개발
- - 연/경자성 복합체를 이용한 영구자석 개발
- - 포화자속밀도 1.8T급 전력변환기용 비정질 코아소재 개발
고주파 전자계 활용을 위한 연자성 소재 개발
- - 10GHz 급 경량 전자파흡수 복합소재 개발
- - GHz 급 안테나 기판소재 개발
철강재료의 구조해석
- - 자동차용 1GPa급 나노 석출강화형 고강도 강판 및 제조기술 개발
- - 고효율 발전 보일러용 ferrite계 seamless tube 소재 및 제조기술 개발
- - 오스테나이트 계 구조용 고Mn강의 탄질화물 석출거동 분석
다기능 재료 및 소자 연구실
- 담당교수 : 이선영 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://mfmd.hanyang.ac.kr/
다기능 재료 및 소자 연구실에서는 다양한 분야에 적용 가능한 광학, 전기, 자성 특성과 같은 여러 기능이 복합적으로 결합되어있는 다기능 스마트재료를 개발하고 있다. 연구 내용을 크게 4가지의 분야로 구분하고 있다. 첫 번째로 나노 입자 적층 시스템에 대한 연구를 진행하고 있다. 나노 입자 적층 시스템은 상온, 저압 환경에서 나노 또는 서브마이크로 입자를 초음속으로 가속시켜 적층하는 기술로, 저비용공정 및 친환경 공정이 장점이다. 두 번째로 저비용으로 금속 나노 입자를 제작하고 산화 방지를 통해 신뢰성을 향상시킬 수 있는 나노 스케일 코팅 공정에 대한 연구를 진행하고 있다. 세 번째로는 친환경 정수 및 소독에 적용될 수 있는 나노 물질 및 구조 합성을 통한 고효율 광촉매 개발을 하고 있다. 마지막으로 제품 설계 및 시제품 제작 시간을 획기적으로 줄이며, 향후 다양한 재료의 적용을 통해 여러 분야의 제품 생산에 기여할 수 있는 3D PRINTING에 대한 연구를 하고 있다. 다기능 재료 및 소자 연구실에서는 앞서 언급한 다양한 분야의 연구를 통하여 산업 전반에 적용될 수 있는 실질적인 연구를 진행하고, 이를 통해 다량의 우수한 성과를 나타내고 있다.
나노 입자 적층 시스템(NPDS)을 이용한저비용 고효율 소자 제작
- - 고효율 염료 감응형 태양 전지 제작
- - 저비용 고효율 전기 변색 소자 제작 및 대면적화
- - 나노 입자 적층 메커니즘 규명
Polyol method를 이용한 저비용 산화방지나노 재료 합성
- - 그래핀 코팅을 통한 구리나노 입자 산화방지 및장기적 안정성 연구
- - 구리 나노 입자를 기반으로한 ink 제작
- - 나노 입자 적층 메커니즘 규명
나노 구조, 재료합성을 통한친환경 고효율광촉매 제작
- - 광촉매 효율 향상 연구
- - 광촉매 기반 다양한 재료합성 연구
- - 광촉매 반응 메커니즘 규명
3D Printing 기술을 통한제품 설계와 부품 제작
- - Selective Laser Sintering (SLS) 공정을 통한 부품 제작
- - 전도성 필라멘트 제작- 3D Print 이용 Actuator 제작
반도체나노공정연구실
- 담당교수 : 이정호 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://snpl.hanyang.ac.kr/
이정호교수 연구실의 주요 연구분야는 고효율 저비용의 태양에너지변환소자의 제조입니다. 크게 실리콘와이어태양전지, 박형화실리콘태양전지, PV-TE 통합소자설계 및 개발로 나눌 수 있습니다. PV-TE 통합소자설계는 태양전지 (PV, photovoltaic device)와 열전소자 (TE, thermoelectric device)를 이용하여 효율적으로 태양에너지를 이용함을 목적으로 하고 있습니다. 특히 본 연구실에서는 태양광을 전기로 바꾸는 PV 소자를 실리콘나노구조체를 활용하여 제작하고, 태양열을 전기로 바꿀 수 있는 TE 소자를Mg2Si, SiGe, BiTe등의 나노복합재료로 제작하여, 이를 융합함으로서 동시에 구동이 가능한 통합형고효율에너지변환소자를 개발하고 있습니다. 실리콘와이어태양전지는 기존 태양전지 효율 한계극복을 위해 높은 광흡수와 짧은 확산거리를 장점으로 가지고 있습니다. 실리콘와이어태양전지의 효율을 높이기 위해 본 연구실에서는 Au입자 혹은 ZnSe입자를 이용한 광흡수율개선 및 와이어태양전지에 적용하기 위한 전극구조 개발을 하고있습니다. 또한 실리콘와이어어레이를 폴리머지지체에 담지하여 플레시블태양전지를 개발하기 위한 연구도 진행 중에 있습니다. 저가형 태양전지를 만들기 위한 방안으로 박형화실리콘태양전지를 개발하고 있는데, 이 기술을 통해 실리콘의 사용량을 줄임으로써 비용절감을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 공정비용 또한 낮출 수 있습니다. 이에 대한 세부연구내용으로는 stress-induced lift-off 기술을 이용한 Si 박형화 및 박형화 된 실리콘에서 고효율태양전지를 제작하기 위한 기술을 연구하고 있습니다. 이와 같이, 본 연구실에서는 저비용으로 높은 광전변환효율을 가지는 소자를 제작하기 위한 다양한 연구가 활발히 진행 되고 있습니다.
실리콘 와이어 박형화 태양전지
- - 실리콘 나노구조체 (nanowire or nanohole)광학 특성 분석 및 light trapping 연구
- - 실리콘 나노구조 기반의 고효율 태양전지 개발 - 태양전지 전극 디자인 및 투명전극 기술 개발
- - 금속입자를 이용한 플라즈모닉기술을 통해 광흡수율 향상 기술 개발
- - 양자점 (ZnSe, CZTS, etc.) 을 이용한 광흡수 향상 기술 개발
- - 저가형 박형화 실리콘(<30um) 태양전지 개발- 실리콘 표면 결함 조사 및 패시베이션 연구
- - 박형화 실리콘 기반의 이종 접합 태양전지 개발 (PEDOT/Si, and a-Si/C-Si)
Solar water splitting에 의한 수소 생성
- - 고효율 광전기화학셀 설계 및 제조
- - 실리콘 나노구조체 기반의 광전극 기술 개발
- - SnS 광전극 개발 - 효율 향상을 위한 이종 접합 전극 기술 개발 (Graphene/Si, Metal/Si, and TCO/Si)
- - 광전극 안정성 개선을 위한 ALD 기반의 절연막 형성 연구 (SiOx, AlOx, HfOx, and TiOx)
- - 광전극용 촉매 개발 (NiOx, CoSx, MoSx, Graphene, and Pt)
- - 광전기화학전지-열전 통합소자 설계 및 개발
PV-TE 통합소자설계
- - 태양전지 (PV, photovoltaic device)와 열전소자 (TE, thermoelectric device)의 접합을 통해 태양광과 태양열의 효율적인 에너지 변환 연구
- - 개별소자에서 구동 되는 전력의 단순합 이상의 전력을 발생시키는 통합소자 설계
- - Mg2Si, SiGe, BiTe등의 나노구조체의 합성 및 열전도도감소연구
고온물리화학 소재 공정 연구실
- 담당교수 : 박주현 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://hitep2.hanyang.ac.kr/
한양대학교 재료공학과 “고온물리화학 소재공정 연구실’에서는 거시적 관점에서 철 및 비철금속의 제조공정 최적화에 관한 연구를 수행하며, 이를 원자/분자 단위의 미시적 관점에서 규명하는 연구를 체계적으로 수행하고 있습니다. 현상규명을 위한 방법으로는 고온물리화학 기법에 의한 실험 수행과 컴퓨터 프로그램을 응용한 열역학 계산기법을 병행합니다.
특히 철/비철 금속의 제련 및 정련 프로세스, 고순도/고청정 금속소재 제조 프로세스, 고기능/고부가 금속소재 제조 프로세스 등 산업 전후방 효과가 매우 큰 구조용/에너지용 금속소재의 제조공정 개선을 위한 현상 규명뿐 아니라 고온에서 세라믹 융체의 구조와 물성, 그리고 열역학적 특성간의 상관관계 규명하는 이론적 연구를 수행하고 있습니다.
철강재료의 제조프로세스 연구
- 1) 고순도 /고청정 스테인리스강 제조기술 개발을 위한 열역학적 연구
- 2) 자동차용 특수강 내 spinel 개재물 저감기술 개발
- 3) 차세대 자동차용 용융아연도금강판 제조기술 개발을 위한 용융 Zn 중 Zn-Al-Fe계 금속간화합물 (dross) 생성기구 규명
- 4) 2차정련 슬래그의 점성거동 및 용강 청정도 향상을 위한 슬래그 물성 연구
- 5) 용강 청정도 확보를 위한 Tundish flux 최적화 연구
- 6) 전기로 슬래그 중 FeO 환원 열역학 및 속도론적 연구
- 7) 함철 부산물의 고속 환원반응 mechanism 규명
비철합금 제조프로세스 연구
- 1) 고기능 Mn합금 정련기술 개발을 위한 MnO-계 슬래그의 물리화학적 특성 규명
- 2) 사용후 휴대기기로부터 유가금속 회수를 위한 In, Ni, Ag, Au의 slag-metal 분배거동 규명
- 3) 비철제련 슬래그 중 FeO 환원 열역학 및 속도론적 연구
- 4) 심해저 망간단괴 환원합금의 황화거동에 관한 열역학적 연구
- 5) 폐전자기기 용융환원 처리 슬래그의 고온점성 최적화 연구
금속소재 제조프로세스의 현상규명을 위한 물리화학 기초연구
- 1) 고온 반응기 (소각로, 정련로, 용해로 등) 내 슬래그/용강/내화물간 계면반응 특성 규명
- 2) 고온 세라믹 융체의 고온점성 측정 및 원자단위 구조와의 상관성 규명 연구
- 3) 금속/세라믹 융체의 열역학적 특성 규명
나노소자공학연구실
- 담당교수 : 박태주 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://nel.hanyang.ac.kr
나노소자공학연구실에서는 다양한 차세대 전자소자, 2차전지 및 나노입자 코팅에 관한 기초연구 및 응용연구를 진행하고 있다.
차세대 반도체 소자 개발
- - 저차원 채널 구현을 통한 고성능 차세대 Field Effect Transistor 개발
- - 양산성이 뛰어난 고성능 post-CMOS 소자 연구개발
- - Atomic Switching 기반의 Cross-bar Array 메모리/뉴로모픽 소자 공정 개발 및 특성 분석
Advanced ALD
- - 차세대 반도체 소자용 ALD 공정(DFM, EA-ALD, HCP) 개발
- - High-K/금속/산화물 박막의 영역선택적 원자층 증착법(Area-Selective ALD, AS-ALD), 원자층식각법(ALE) 공정 개발
차세대 에너지 시스템/소자
- - 반도체향 극박막 On-Chip 마이크로 배터리의 구현
- - 일괄 공정을 통한 전고체 배터리(All-Solid Battery)의 구현
Powder ALD
- - 다양한 산화물, 황화물의 나노입자상 코팅공정 개발
- - Photoelectrochemical Cell, QDSSC, 광촉매 재료/공정 개발
- - 전고체 배터리용 코팅 공정
나노소재 및 시스템 연구실
- 담당교수 : 유봉영 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://nmsl.hanyang.ac.kr/
본 연구실에서는 전기화학적 합성법을 이용한 나노물질의 합성과 이를 적용한 시스템에 대하여 연구를 진행하고 있다. 전기화학적 합성법은 다른 합성법과 비교했을 때 다음과 같은 장점이 있다. 습식합성법으로서 고온 및 진공장비가 필요하지 않고 낭비되는 재료의 양을 줄일 수 있어 설비가 비교적 간단하고 경제적이다. 또한 단일금속 뿐만아니라 반도체 합금, 폴리머 등의 합성도 가능하며 다양한 공정변수를 통해 조성, 미세조직, 박막 두께 등을 미세하게 조절할 수 있어 차세대 나노소재의 합성에 최적의 합성법이다.
현재 본 연구실에서 연구하고 있는 분야를 크게 세가지로 구분한다면 에너지 분야(광전기화학셀, 단결정 실리콘 박막 박리, 열전재료), 전해증착 구리 분야(through Si via filling, 나노트윈 구리), 합금 합성 분야(칼코제나이드 소재, 니켈-텅스텐 합금)와 같다. 세부 연구분야 및 주요연구 내용은 아래와 같다.
물분해를 위한 광전기화학셀개발
- - 삼차원 산화구리 광흡수구조체 제조
- - 고효율 실리콘 기반 광전기화학셀 개발
습식 전해 증착법을 이용한 Kerf-free 박막(<50㎛) 단결정 실리콘 박막 박리 기술 연구
- - 실리콘 두께 조절을 위한 도금층 임계스트레스 제어기술 개발
- - 실리콘과 높은 접착력을 구비한 나노라드무전해시드층 개발
- - 초기 파단 위치 제어를 위한 레이저 스크라이빙 기술 개발
저온용 열전재료의 특성 향상 연구
- - 페르미 레벨 조절 및 미세조직 제어를 통한 열전 성능지수의 향상
칩간의 3차원 배선을 위한 through-Si-via(TSV) filling 공정 개발
- - TSV 충진용 도금 첨가제 개발
- - TSV 고속 충진 기술 개발
- - TSV 충진재의 미세구조 조작 기술 개
PCB기판 신뢰성 향상을 위한 고강도 나노트윈 구리동박 개발
- - 전류조건 조절을 통한 기계적 특성 제어
- - 첨가제 종류 및 조성에 따른 쌍정 밀도 향상 및 미세조직 제어
- - 양산 적용을 위한 공정 최적화
용액기술 기반의 칼코지나이드 소재 합성 및 응용
- - 전해증착법을 이용한 칼코지나이드 증착
- - 전극 패턴에 전해증착을 통한 Metal-Oxide-Semiconductor(MOS) 구조 제작
- - MOS 구조를 이용한 가스 센싱 소자 개발
습식전해증착법을 이용한 니켈-텅스텐 합금 형성
니켈-텅스텐의 다층 박막 구조 및 기능성 경사재료 형성
나노바이오소재공학 연구실
- 담당교수 : 김태현 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : http://www.bioenglab.com
급격한 산업화를 통한 대량생산 체제는 석유와 석탄과 같은 화석원료에 크게 의존하고 있으며, 가까운 미래에 화석원료 수급 위기가 발생할 경우 경제 전반에 심각한 영향을 미칠 우려가 있다. 또한, 화석연료 사용의 부작용으로 기후변화가 가속화되고 있으며 매년 그 심각성이 커지고 있다. 최근 바이오매스와 같은 재생가능한 자원은 화석연료를 대체할 수 있는 자원으로 주목받고 있다. 특히 바이오매스를 활용한 석유화학 대체 제품과 바이오연료 등을 생산하는 기술은 미래 바이오화학 산업의 핵심 기술로서 경제적 가능성을 인정받아 정부 및 산업계의 관심이 높아지고 있다. 짧은 기간에 재생산이 가능한 바이오매스 자원으로는 식물(cellulosic), 해양생물(algal), 유기성 부산물 및 폐기물 등이 있으며, 주요 성분으로는 탄수화물(당), 리그닌(탄화수소), 단백질, 지질 등이 있다. 이들 성분을 기반으로 C1~C6 계열의 다양한 building block을 생산할 수 있으며, 이를 통해 다양한 산업 분야에 응용 가능한 제품들을 제조할 수 있다. 특히, 바이오매스에서 얻을 수 있는 나노셀룰로오스(nanocellulose)는 뛰어난 기계적 강도, 높은 표면적, 생분해성 등 우수한 특성을 지니고 있어 고기능성 필름, 바이오복합재, 의약 소재 등 다양한 첨단 분야에서 차세대 소재로 각광받고 있다. 본 연구실에서는 바이오매스의 성분을 효율적으로 분리하는 성분 분리 공정기술, 분리된 성분을 유용한 building block으로 전환하는 전환공정 기술, 나노셀룰로오스와 같은 나노소재 제조 기술, 그리고 이들 소재를 에너지와 산업용 제품(섬유, 식품, 화장품, 건강, 의학, 건축 등)으로 제조하는 화학적·생물학적 공정기술을 개발하고 있다. 이를 위해 화학공학, 재료공학, 생물공학 등 다양한 첨단 기술을 융합하여 혁신적인 연구를 수행하고 있다.
Biomass processing
- - 화학적 전처리 공정기술 개발
- - 화학적전처리, 효소당화, 미생물 발효의 통합공정 기술
Platform chemical 분별, 분리
- - Ethanol, lactic acid, levulinic acid, furfural, 5-HMF 등의 building block chemicals
- - 산업용 화학소재, 섬유, 식품, 환경, 건축/내장, 건강, 의료, 화장품의 기초 원료 및 소재
소재 및 bio-based product 제조
- - Ethanol, lactic acid, levulinic acid, furfural, 5-HMF 등의 building block chemicals
- - 산업용 화학소재, 섬유, 식품, 환경, 건축/내장, 건강, 의료, 화장품의 기초 원료 및 소재
Process simulation and economic analysis
- - 화학적 생물학적 공정의 simulation & optimization
- - 경제성 비교와 분석
구조재료미세조직설계연구실
- 담당교수 : 김진경 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : https://www.smmdl.hanyang.ac.kr/
구조재료미세조직설계 연구실은 초고강도강, 고엔트로피 합금 등 핵심 구죠용 소재의 공정 중 나타나는 미세조직과 기계적 성질 사이의 상관관계에 관한 이해를 바탕으로 극한 환경에서도 탁월한 기계적 성질을 가지는 구조 재료를 개발하는 연구를 수행한다.
자동차용 초고강도 철강소재 개발
- - 석출강화 초고강도 철강 개발
- - 중망간강의 공정 최적화 연구
극한 환경용 고엔트로피 합금 개발
- - 상온 및 극저온에서 탁월한 기계적 물성을 가지는 고엔트로피 합금의 미세조직 제어기술 연구
- - 고엔트로피 합금의 미세조직 정밀 분석 연구
나노소재 및 소자연구실
- 담당교수 : 안지훈 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : https://sites.google.com/site/nmdl1512/
나노소재및소자연구실에서는 차세대 전자소재 구성요소인 나노소재를 디자인하고 직접 합성하며 이를 다양한 반도체 기반 소자에 응용하는 연구를 수행하고 있습니다.
차세대 메모리 소자 연구
- - 차세대 메모리 소자용 전극/유전체 소재 개발
- - 강유전 박막 소재 및 소자 연구
저차원 신소재 합성 연구
- - 2차원 반도체 신소재 합성법 개발
- - 대면적 고품위 합성 기술 개발 및 양산화 연구
반도체 기반 소자 응용
- - 전자, 광-전소자 응용연구
- - Energy harvesting, Sensor 응용 연구
유기전자소자 및 센서 연구실
- 담당교수 : 이화성 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : https://oeslab.hanyang.ac.kr/
유기전자소자 및 센서 연구실은 고분자 제어 기술을 기반으로 첨단 고분자 반도체 소재를 적용한 웨어러블 전자소자용 반도체/디스플레이 소자와 다양한 분야에 적용 가능한 플렉서블 압력/변형/화학 센서에 대한 연구를 진행하고 있습니다. 또한 계면제어 기술을 기반으로 나노입자 분산기술을 이용한 열제어 소재 및 다양한 복합 고분자 소재에 대한 연구를 수행하고 있습니다.
차세대 고분자 반도체 소자 연구
- - 차세대 유기트랜지스터 개발
- - 유기/고분자 반도체 소재 연구
- - 기능성 부여를 위한 첨단 전자소자 설계
- - 플렉서블 논리회로 개발
- - 유기/고분자 전자소자 대면적 패턴기술 연구
플랙서블 센서 연구
- - 유연 압력/변형/화학센서 연구
- - 멀티신호 감지가능 다기능 센서 기술 연구
- - 생체신호 감지 센서 기술
인쇄전자기술 연구
- - 스크린 프린팅/블레이드 프린팅/펜프린팅/전기방사 등 대면적 패턴기술 연구
- - 인쇄전자용 전자잉크 개발
전자소자 열제어 연구
- - 고분자/무기 하이브리드 방열 기술 연구
- - 열 흐름 제어 연구
고분자 유/무기 기능화 연구
- - 고분자/무기 복합화 적용 복합소재 연구
- - 기능성 복합소재 연구
스마트 전자 및 나노센서 연구실
- 담당교수 : 김동하 교수
- 연구실 위치 : 업데이트 중
- 전화번호 : 업데이트 중
- 홈페이지 : https://dongha0507.wixsite.com/sensors
스마트 전자 및 나노센서 연구실은 다양한 유/무기물 기능성 복합 나노소재의 합성 및 반도체식 센서 응용에 대한 연구를 진행하고 있습니다. 나노소재의 표면 활성을 엔지니어링하며, 고성능 촉매를 설계하고, 센싱 메커니즘에 대해 탐구하는 연구를 진행하고 있습니다.
무기나노소재 합성
- - 금속산화물 나노구조체 합성
- - 탄소나노튜브 복합 소재 합성
- - 그래핀 기반 복합 소재 합성
- - 전도성 금속유기구조체(conducting metal-organic frameworks) 소재 합성을 통한 molecular sensing & sieving 연구
광열효과 기반 촉매 합성
- - 단일 원자 (single atoms) 촉매
- - 고엔트로피 (high-entropy) 촉매
- - 엑솔루션 (ex-solution) 촉매
- - 헤테로 원자 도핑 (heteroatom doping)
- - 고성능 촉매를 활용한 가스 흡착 및 분해 촉진 연구
MEMS 센서 어레이 플랫폼
- - MEMS 기반 센서 어레이 구축을 통한 초저전력 및 복합가스 감지용 센서 플랫폼 구축
- - 인공지능을 활용한 지능형 센서 어레이 플랫폼 개발에 관한 연구
나노섬유 얀 기반 스마트 전자 섬유 센서
- - 얀 전기방사 (yarn-spinning) 기법을 활용한 초고밀도 나노섬유 얀 합성
- - 기능성 소재 코팅 (sputter-deposition, atomic layer deposition)을 통한 웨어러블 센서 연구
- - 색염료 결착을 통한 색변화식 물리화학적 센서 연구
전자재료공정 연구실
- 담당교수 : 박진구 교수
- 연구실 위치 : 제5공학관 309호
- 전화번호 : 031-400-5266
- 홈페이지 : jgpark@hanyang.ac.kr
전자재료공정연구실(Electronic Materials and Processing Laboratory)은 반도체 제조 공정에서 필수적인 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 및 세정(Cleaning) 공정을 연구하며, 표면 처리 및 오염 제거 기술의 최적화를 목표로 한다. CMP 공정은 반도체 칩의 다층 배선 구조 구현을 위한 평탄화 기술로, 본 연구실에서는 산화막, Cu, Co, Ru, W 등의 다양한 재료를 대상으로 연구를 수행하며, 패키징(PKG) 공정의 본딩 최적화를 위한 CMP 연구도 진행하고 있다. 세정 공정은 웨이퍼 표면의 오염 입자 및 유기 불순물 제거를 위한 필수 과정으로, 초음파(Megasonics), 오존(O₃) 세정, 기능성 수(FW) 세정 등 다양한 기법을 활용한 최적의 세정 방법을 연구하고 있다. 또한, 환경 친화적인 세정 화학물질 및 공정을 개발하여 반도체 제조 과정의 환경 영향을 최소화하는 연구도 수행 중이다. Post-CMP Cleaning 공정에서는 CMP 이후 웨이퍼 표면의 오염 물질을 효과적으로 제거하기 위해 PVA(Polyvinyl Alcohol) 브러시를 활용한 세정 기술을 연구하고 있으며, 화학적 불순물, Break-in 과정, Conditioning 공정 등의 문제 해결과 다양한 기판에 적합한 세정 솔루션 개발 연구를 진행하고 있다.
CMP 공정
- - Packaging 단계에서의 CMP 공정 최적화 연구
- - CMP Consumable 개발 연구: Slurry, Pad, Conditioner
Cleaning/Post-CMP Cleaning 공정
- - Wafer Cleaning 최적화 연구
- - Mask/Pellicle Cleaning 공정 개발
- - PVA Brush Cleaning 최적화 연구
- - Cleaning solution 개발